電漿清洗機

電漿清洗機

產品型號:PRCS(M)-BC10

1.採用13.56MHz的RF電源搭配自動匹配輸出,達到最大功率輸出

2.利用活性自由基進行物理與化學反應,提高清潔效果

3.腔體內置可拆卸、調整的電極層架,以對應各種尺寸彈匣、Tray 盤和 Wafer

4.操控採人性化圖形介面設計

5.佔地面積小

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