請填入您的聯絡資料跟要詢問的內容,我們會盡快回覆您,謝謝。
「*」代表必填欄位
1.採用13.56MHz的RF電源搭配自動匹配輸出,達到最大功率輸出
2.利用活性自由基進行物理與化學反應,提高清潔效果
3.腔體內置可拆卸、調整的電極層架,以對應各種尺寸彈匣、Tray 盤和 Wafer
4.操控採人性化圖形介面設計
5.佔地面積小