複合式微波電漿光阻去除機

複合式微波電漿光阻去除機

產品型號:PRST-BMR3010 / BM2R3010

1.適用於8″/12″晶圓
2.系統可選擇2~6個製程腔
3.穩定的傳輸系統
4.全面數位控制系統,具備聯網功能
5.3種製程模式選擇:微波、射頻、微波+射頻
6.低損傷微波電漿系統
7.高密度微波電漿提升電漿處理效率
8.遠程電漿系統可以降低製程溫度及電漿損傷

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