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886-935-537370(TW)
陳先生
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規格
特色
最高使用溫度:450℃
溫度均勻性:±3℃
含氧控制能力:3%~30%,±1%
濕度控制能力:絕對溼度5%~30%,±1%
潔淨度:Class10
多段式溫度控制
Recipe編輯管理
可提供熱風/熱板型式
爐內可做高氧、低氧、高濕度等環境控制
爐內潔淨度可達Class10
可對應G3.5~G10.5世代
廢氣回收再利用,熱交換率>40%
應用先進製程控制(APC),收集機台相關資料與數據,即時處理系統即時錯誤診斷與分類
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