自動高溫無氧真空烤箱
1.溫度：150℃~Max.450℃
2.均勻度：≥ 250℃ ± 2.5℃；≤ 250℃ ± 1.5℃
3.升溫速度：100℃~380℃(≥ 6℃/min)
4.降溫速度：380℃~100℃(≥ 3℃/min)
5.潔淨度：Class100
6.含氧量：<10ppm
7.應用尺寸：Handling：300 & 301mm；Thickness：600~1500um (max.)；Warpage：+/- 450um；Weight：230~250 g
其他詳細規格可依需求洽談
- Comply with SEMI S2 certification
- High class level for clean-room
- Excellent thermal uniformity and pressure control
- Oxygen-free environment
- Less N2 consumption and shorter cure time
- SECS/GEM
- CIM system
檔案下載
| 檔案 |
|---|
| 型錄下載 |
