12-inch恆溫式自動化烤箱

12-inch恆溫式自動化烤箱

產品型號:HQMOL-A12-250CS

1.溫度:250˚C (可依客戶需求調整),均溫能力±3˚C

2.電力:AC 220V /3Φ/60Hz

3.內部環境Robot作業區域:Class 100

4.內部環境chamber作業區域:Class 100

其他詳細規格可依需求洽談

  • 稼動率高,恆溫式WPH為昇降溫式的4倍
  • Oven維持穩定溫度,減少晶圓升溫時間
  • 廠務需求量,恆溫式較昇降溫式節能>50%
  • 佔地面積小每爐可放置104片,大幅提高產能

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