熱板多層爐

熱板多層爐

  1. 對應世代:G3.5~G10.5
  2. 可對應溫度範圍:120℃~450℃
  3. 均溫性佳:≦±3℃
  4. 含氧控制能力:3%~30%,±1%
  5. 潔淨度:Class10
  6. 傳送方式:Robot傳輸
  7. Recipe編輯管理
  1. 製程應用低溫多晶矽:通道層退火Cell:PI塗佈前水洗後烘乾、PI配向膜固化、配向後水洗烘乾光配向:PI配向膜固化、配向後二次固化
  2. 熱板採用日本進口薄型化熱板
  3. 爐內可做氣氛(N2、O2、濕度)控制
  4. 爐門可採非接觸式及氣密式兩種設計
  5. 爐內潔淨度可達Class10
  6. 應用先進製程控制(APC),收集機台相關資料與數據,即時處理系統即時錯誤診斷與分類
  7. 銷售實績:AUO、InnoLux、HKC、CHOT、TIANMA

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