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1.温度:280℃
2.均匀度:280℃ ±3℃
3.洁净度:Class100
4.含氧量:100/ 50/ 10ppm (35min)
5.应用尺寸:6″/ 8″/ 10″/ 12″
6.最大对应尺寸:510 x 510mm
其他详细规格可依需求洽谈