自动真空烤箱
1.尺寸：W3200xD2600xH2500(mm)/6500KG
2.基板尺寸：300&301(mm)
3.基板厚度：MAX.600~1500μm
4.电力：AC220V3φ60HZ
5.气压：>5kgf/cm²
6.氮气：>5kgf/cm²
1.符合SEMIS2认证
2.适用于高无尘室规格
3.快速温度控制
4.均匀度极佳
5.高低速帮浦效率高
6.搭配SECS/GEM
7.CIM系统
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| 档案 |
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| 下载型录 |
1.尺寸：W3200xD2600xH2500(mm)/6500KG
2.基板尺寸：300&301(mm)
3.基板厚度：MAX.600~1500μm
4.电力：AC220V3φ60HZ
5.气压：>5kgf/cm²
6.氮气：>5kgf/cm²
1.符合SEMIS2认证
2.适用于高无尘室规格
3.快速温度控制
4.均匀度极佳
5.高低速帮浦效率高
6.搭配SECS/GEM
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