[内层][自动]
平行光曝光机
1.适用范围：
制程板尺寸：254x305mm~558x635mm(10″x12″~22″~25″)
制程板厚度：0.05~2mm
底片尺寸：24″x27″
2.机台外型(W/D/H)：2936/2435/2219(mm)
1.高精度：台面对位精度3σ<10μm
2.机壳采SUS材质制造
3.入料滚轮采SUS抛光处理，确保整板质量
4.配重式靠边对位，薄板不拱板
5.高解析台框设计
6.平行光使用低耗能5kw灯管
7.双面同时曝光
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