≦±15mmX及Y方向线性及面补偿钻靶精准度
≦±10mm靶中心见靶钻精准度
层偏及涨缩量测功能及检查，以判别基板Good/No Good，并分类
系统自我校正功能保证量产时长时间钻靶的精准度
内建X-ray防泄漏包装及隔离设计，保证无X-ray外泄发生
内建X-ray Camera倾斜、旋转、位移误差自动更正软件功能
内建多种标准线性、多靶标面补偿及N/C钻靶模式
自动计算优化面补偿钻孔位置功能
完整的X及Y方向SPC报告
产能(每片)
- 4s./2-hole
- 8s./3-hole(3rd hole NC加工)
- 16s./7-hole(inner 3holes NC加工)