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许小姐
886-935-537370(TW)
陈先生
86-159-62521975(CN华东)
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规格
特色
适用尺寸:G2~G6
最高使用温度:600℃
温度均匀性:±4℃
升降温速率:≧8℃/Min.
含氧控制能力:≦100ppm
有机挥发物自动烧除功能
采用IR加热,升温速度快
温度均匀性佳
N2回收系统
Solvent处理系统
可搭配挥发物处理系统,降低制程污染与环境异味
搭配Robot自动传片
可实时监控基板温度
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