PI软显固烤炉
- 适用尺寸：G2~G6
- 最高使用温度：600℃
- 温度均匀性：±4℃
- 升降温速率：≧8℃/Min.
- 含氧控制能力：≦100ppm
- 有机挥发物自动烧除功能
- 采用IR加热，升温速度快
- 温度均匀性佳
- N2回收系统
- Solvent处理系统
- 可搭配挥发物处理系统，降低制程污染与环境异味
- 搭配Robot自动传片
- 可实时监控基板温度
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