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886-935-537370(TW)
陈先生
86-159-62521975(CN华东)
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规格
特色
最高使用温度:450℃
温度均匀性:±3℃
含氧控制能力:3%~30%,±1%
湿度控制能力:绝对湿度5%~30%,±1%
洁净度:Class10
多段式温度控制
Recipe编辑管理
可提供热风/热板型式
炉内可做高氧、低氧、高湿度等环境控制
炉内洁净度可达Class10
可对应G3.5~G10.5世代
废气回收再利用,热交换率>40%
应用先进制程控制(APC),收集机台相关数据与数据,实时处理系统实时错误诊断与分类
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