IGZO热处理退火炉

IGZO热处理退火炉

  1. 最高使用温度:450℃
  2. 温度均匀性:±3℃
  3. 含氧控制能力:3%~30%,±1%
  4. 湿度控制能力:绝对湿度5%~30%,±1%
  5. 洁净度:Class10
  6. 多段式温度控制
  7. Recipe编辑管理
  1. 可提供热风/热板型式
  2. 炉内可做高氧、低氧、高湿度等环境控制
  3. 炉内洁净度可达Class10
  4. 可对应G3.5~G10.5世代
  5. 废气回收再利用,热交换率>40%
  6. 应用先进制程控制(APC),收集机台相关数据与数据,实时处理系统实时错误诊断与分类

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