IGZO热处理退火炉
- 最高使用温度：450℃
- 温度均匀性：±3℃
- 含氧控制能力：3%~30%，±1%
- 湿度控制能力：绝对湿度5%~30%，±1%
- 洁净度：Class10
- 多段式温度控制
- Recipe编辑管理
- 可提供热风/热板型式
- 炉内可做高氧、低氧、高湿度等环境控制
- 炉内洁净度可达Class10
- 可对应G3.5~G10.5世代
- 废气回收再利用，热交换率>40%
- 应用先进制程控制(APC)，收集机台相关数据与数据，实时处理系统实时错误诊断与分类
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