热板多层炉
- 对应世代：G3.5~G10.5
- 可对应温度范围：120℃~450℃
- 均温性佳：≦±3℃
- 含氧控制能力：3%~30%，±1%
- 洁净度：Class10
- 传送方式：Robot传输
- Recipe编辑管理
- 制程应用低温多晶硅：通道层退火Cell：PI涂布前水洗后烘干、PI配向膜固化、配向后水洗烘干光配向：PI配向膜固化、配向后二次固化
- 热板采用日本进口薄型化热板
- 炉内可做气氛(N2、O2、湿度)控制
- 炉门可采非接触式及气密式两种设计
- 炉内洁净度可达Class10
- 应用先进制程控制(APC)，收集机台相关数据与数据，实时处理系统实时错误诊断与分类
- 销售实绩:AUO、InnoLux、HKC、CHOT、TIANMA
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