高温无氧无尘自动化烤箱
1.温度:280℃
2.均匀度:280℃ ±3℃
3.洁净度:Class100
4.含氧量:100/ 50/ 10ppm (35min)
5.应用尺寸:6″/ 8″/ 10″/ 12″
6.最大对应尺寸:510 x 510mm
其他详细规格可依需求洽谈
- 先进封装制程使用 (SiP、RDL、Fan-Out)
- 可对应WLP/PLP尺寸、 Cassette、多样化、客制化
- 高洁净度
- 均匀性可控制
- 温度范围:RT+25℃~280℃
- 低含氧
- 有机溶剂解决系统装置
- 实时资料监视
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