[内层][自动]
平行光曝光机

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平行光曝光机

SKU:UVE-A260

1.适用范围:
制程板尺寸:254×304.8mm(10″x12″)~558.8x635mm(22″~25″)
制程板厚度:0.05~2mm
底片尺寸:24″x27″
2.机台外型(W/D/H):2840/2900/2237.5(mm)

1.高产速:机械动作时间8秒
2.高精度:台面对位精度3σ<10μm 3.高解析:平行光线路解析2mi/2mi保证 4.全机Class1000无尘等级 5.入出料传动磁力环设计无产尘疑虑 6.高刚性底座强化机台稳定度 7.PassLine高度950~1030mm符合无尘需求 8.移动式视觉与背光模块提高最大板边利用率 9.新型对位算法,保证均分底片误差 10.曝光室环境控制系统有效增加A/W稳定 11.线性马达移载系提高无尘度、精度、速度

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