[内外层][自动]
平行光曝光机
1.适用范围：
制程板尺寸：305x356mm(12″x14″)~558x635mm(22″~25″)
制程板厚度：0.05~3.0mm
底片尺寸：24″x27″
2.机台外型(W/D/H)：3010/2913/2394(mm)
1.内/外层共享双面曝光
2.底片自动对位可选择单/多片对位
3.曝光室Class1000无尘等级
4.曝光室独特环境控制系统，有效增加AW稳动度
5.入料模块采用SUS304表面研磨处理滚筒
6.磁力环驱动入出料滚同确保不产尘
7.曝光台面重复精度±5μm
8.下框升降人性化的操作空间
9.线性马传输系统，提高无尘度、精度、速度
11.高刚性底座强化机台稳定性
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