[内外层][手动]
散射光曝光机
1.适用范围：
制程板尺寸：610x740mm(24″x29″)
2.机台外型(W/D/H)：1340/2150/1700+100(mm)
1.高强化台框玻璃
2.智能型中(英)文可选人机操作平台
3.双面曝光，产速高
4.结构简单，保养容易
5.台面高真空，解析能力高(-700mmHg以上)
6.动作异常时，实时警报提示功能
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[内外层][手动]
1.适用范围：
制程板尺寸：610x740mm(24″x29″)
2.机台外型(W/D/H)：1340/2150/1700+100(mm)
1.高强化台框玻璃
2.智能型中(英)文可选人机操作平台
3.双面曝光，产速高
4.结构简单，保养容易
5.台面高真空，解析能力高(-700mmHg以上)
6.动作异常时，实时警报提示功能
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